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本發(fā)明提出一種亞波長矩形單周期光柵結構的制作方法，其用于制作可實現(xiàn)偶數(shù)分束的亞波長矩形單周期光柵結構，其包括如下步驟：S11、確定入射波波長和光柵基底的材料的折射率；S13、根據(jù)目標偶數(shù)分束數(shù)構建評價函數(shù)；S15、利用嚴格耦合波理論和全局優(yōu)化算法，結合所述評價函數(shù)，優(yōu)化獲得所述亞波長矩形單周期光柵結構的脊寬、槽寬及深度；S17、根據(jù)所述脊寬、所述槽寬及所述深度，制作所述亞波長矩形單周期光柵結構。獲得的亞波長矩形單周期光柵結構可對不同的入射波波長實現(xiàn)較為理想的偶數(shù)分束效果；同時，具有所述亞波長矩形單周期光柵結構的偶數(shù)分束器可有效地實現(xiàn)偶數(shù)分束，且其為周期性矩形結構，易于生產復制，實用性強。

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